Polovodičové technologie pro výzkum a vývoj (difuzní a oxidační procesy, technologie LPCVD a MOCVD

ŠKODA, D., 2015: Polovodičové technologie pro výzkum a vývoj (difuzní a oxidační procesy, technologie LPCVD a MOCVD. ; FULL TEXT

Research Groups:

• CF: CEITEC Nano

CEITEC authors:

• Eliška Sládková